扫描电子显微镜和用于使用该标本送检方法
 
KR1020130061433  2013-5-30  发明申请

2014-12-10
 
  扫描电镜样品使用其的探测方法,其公开内容。所述公开内容,和注射电子显微镜的电子枪,其设置在一排中,包括透镜和物镜℃柱;空通道霍尔一侧上围绕目标的透镜形成在其中,为所述真空壳体和;并配置于所述真空壳体,所述样品的所述插入空通道霍尔紧密夹持位置以所述模式和1号2号空通道霍尔间隔开一距离远离所述样品被选择性地可配置的方式,样品转移单元;包括。
 
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