| 用于调查的扫描探针显微镜体对象 |
| RU2010126742 2010-7-1 发明授权 |
| 2014-5-20 |
| 字段 : 测量设备。物质 : 装置被设计用于复杂形状的探测对象上测量的性能，例如，在管油和核功率行业中。本发明的该物质由在所述事实为一种扫描探针用于调查的显微镜体对象，包括一测量头与一piezoscanner和一探针，耦合与一单元分析和控制的，一个接近模块，三个支柱安装在所述测量头，和一驱动的所述测量头，包括到所述方法的模块，另外一个平台被加入，其上有一种双坐标表安装，被耦合与所述本体安装在它作为能够旋转的，其存在是所述方法的模块上; 其中所述测量头是固定的与所述piezoscanner和所述探针。所述测量头包括两个弹簧支持; 和所述平台模块固定到所述对象的。效果 : 扩展功能的能力的一个device.7Cl，2显示 |
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