| 单色双光束照明像差校正和能量滤波低能电子显微镜 |
| US13804066 2013-3-14 发明授权 |
| 2014-5-20 |
| 一个实施例涉及一种用于校正当电子透镜形成样品的图像时引入的像差并且同时使用来自具有宽范围能量的电子束的具有窄范围电子能量的电子来形成电子图像的装置。 第一电子束源被配置为产生较低能量的电子束，第二电子束源被配置为产生较高能量的电子束。 高能束通过单色器，该单色器包括能量色散束分离器、电子反射镜和刀刃板，该刀刃板从传播束去除高能和低能尾部。 低能电子束和高能电子束都被能量色散束分离器偏转到试样上，形成重叠的照明电子束。 物镜加速样品发射或散射的电子。 离开试样的电子束通过能量色散束分离器朝向第一电子反射镜偏转，该能量色散束分离器引入角色散，该角色散根据电子束的能量来分散电子束。 插入位于束分离器和第一电子反射镜之间的刀刃板，该刀刃板去除能量大于和小于选定能量的所有束，并根据能量过滤束。 一个或多个电子透镜将电子束聚焦在第一电子反射镜的反射表面，使得在通过相同的能量色散束分离器的反射和另一偏转之后，电子束色散被去除。 然后，无色散和能量过滤的电子束在第二电子反射镜中被反射，该第二电子反射镜校正物镜的一个或多个像差。 在第二次反射之后，电子被磁束分离器朝向投影光学器件偏转，该投影光学器件在观看屏幕上形成放大的、像差校正的、能量滤波的图像。 |
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