| 用于校准测试物体的传输电子显微镜 |
| RU2012129451 2012-7-12 发明授权 |
| 2013-12-27 |
| 字段 : 物理学。物质 : 本发明涉及校准的透射电子显微镜(tem)当纳米-和子-纳米范围中进行测量。该测试对象是在形成一具有多个用于安装的地方样品架的分析对象，在一个其存在是一参考结构中形成一薄的硅结构的横截面具有一周期浮雕表面，具有一公知的晶面距离和该浮雕已知的梯形元件的尺寸。效果 : 高精度的校准TEM，其增加精度的测量表征所述轮廓段的长度所述浮雕元件在一宽范围长度的利用TEM，同时确定所述的两个轴上的TEM和缩放系数的线性度和正交性所述axes.9显示 |
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