| 使用原子力显微镜进行纳米机械测量的方法和设备 |
| US13925441 2013-6-24 发明申请 |
| 2013-12-26 |
| 提供了一种基于控制的方法，用于在使用原子力显微镜(AFM)的宽带和液态纳米力学性能测量中实现精确的压痕量化。 精确的压痕测量对于基于探针的材料性能表征是理想的，因为施加的力和产生的压痕是表征过程中测量的基本物理量。 然而，当测量频率范围变大(即，宽带)时，或者在液体中测量软材料上的压痕时，会产生大的测量误差。 由于当测量频率变大时，常规方法不能考虑仪器动力学与软样品的粘弹性响应的卷积，以及当测量液体中的压痕时，随机的热漂移和分布的流体动力效应，因此产生了如此大的测量误差。 |
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