| 扫描透射电子显微镜观察方法和扫描透射电子显微镜 |
| JP2011195446 2011-9-7 发明授权 |
| 2015-11-18 |
| 要解决的问题 : 提供一种电子显微镜的观测方法能够获得高精度的STEM图像。方法 : 电子显微镜的观察方法在试样照射电子束， 和电子传输的光束通过样品或标本的检测的散射通过的 检测器包括步骤，获取样品的图像检测器的装置， 一种步骤，用于选择最靠近图像的图像从而获取在多个观察图像的在 检测器的位置的状态下移， 和计算的方向和量的检测器的位置偏移的位置信息的基础上， 这样选择的图像， 和步骤，用于使所述检测器的方向和量的基础上的位置偏移的 检测器因此计算。 版权 : (C)2013，补正 |
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