| 扫描电子显微镜和及其控制方法， |
| WOJP15061936 2015-4-20 发明申请 |
| 2015-10-29 |
| 提供一种扫描电子显微镜具有电子分光系统中，能量分辨率或数量电子的入射光谱仪上的不改变即使改变的减速电压VR。本发明具有 : 电子源(101)；一种第一偏转器(103)，用于偏转一次从电子源发射的电子束；第第二偏转器(104)，用于聚焦该初级电子束偏转第一偏转器，和偏转，远离光轴，所述的二次电子(108)从样品(106)产生从汇聚的一次电子束；电压施加单元(107)，由此减缓负极性电压的一次电子束施加到样品；光谱仪(110)，用于分散二次电子；检测器(111)，用于检测所述次级电子的通过光谱仪；静电透镜(109)之间有第二导流器和光谱仪；和电压-控制单元(113)，由此电压施加于静电透镜的控制的基础上所述的负极性电压施加到样品，静电透镜进行聚焦和偏转动作。 |
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