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一种透射电子显微镜、及其照相机与观察样本的方法
CN201110222290.0 2011-8-4 发明授权
2015-10-28
本发明涉及薄电子探测器中的反向散射降低。在直接电子探测器中,防止电子从传感器下面到探测器部中的反向散射。在某些实施例中,在传感器下面保持空间。在其它实施例中,在传感器下面的结构包括:或者延伸到传感器或者从传感器延伸以捕获电子的几何形状,诸如多个高纵横比通道;或者用于偏转通过传感器的电子的斜向表面的结构。
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