用于光束扫描显微镜的装置和方法
 
WOFR15051055  2015-4-17  发明申请

2015-10-22
 
  本发明涉及一种光束扫描显微镜装置,包括光源,用于发射光束(2)和显微镜物镜(1),用于聚焦所述光束(2)的物平面(11)。按本发明,所述显微仪由第一和第二反射光学装置(m : X1,MX2)串联设置在所述光学路径的光束(2)之间的光源和显微镜物镜(1),第一的角度倾斜的装置(21,25)用于使所述第一反射光学装置(m : X1,Mxy1)根据第一预定的旋转角度(RX1),和第二角度倾斜的装置(22,26),用于倾斜所述第二反射光学装置(m·X2,Mxy2)根据第二的旋转角度(RX2),在这样的方式作为有角度地倾斜的轴线(12)的光束(2)通过枢转围绕中心(O)的显微镜物镜的光瞳(1)。
 
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