透射电镜系统
 
JP2011141848  2011-6-27  发明授权

2015-10-21
 
  

要解决的问题 : 提供一种样品架可宽范围内观察,透射电镜。。方法 : 一种透射电镜100包括轴部(20)与样品支撑部10, 和第一样品支承部移动机构30样品支架的位置变化部(10)中 样品室。 一种台移动机构上移动样品支撑部(10)在第一与行走方向交叉的方向上 样品室中的电子束, 和第一方向的可动范围内样品的支撑部10由座台移动机构 一种第一距离。 第一样品支承部移动机构30上移动样品支撑部10在第一方向不 第一以上的一次距离。 可动范围在第一样品支撑部的方向10×第一的样品支承部移动 机构30是第二的距离。 样品支撑部10具有开口11,用于发射电子束在样品室。 一种第一方向中的开口11的尺寸为不低于第一距离的总和 和第二距离。

版权 : (C)2013,补正

 
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