| 共路的3维衍射光学显微镜镜检和测量样品的deformabilty的方法 |
| KR1020140078107 2014-6-25 发明授权 |
| 2015-10-21 |
| 3样品的三维折射率分布透镜膜检测的抖动普通光路可以分析所述3维衍射光显微镜与试件变形测量方法被公开。公共光路的3维衍射光学显微镜，光(梁)发射光源，入射光束被遮挡时，但仅在产生样品(样品)通过改变入射角，入射角度改变透镜部分的轴线，用于射线透射的干涉条纹测量相机部之间，和干涉图案包括基于计算样本的折射率的三维3，标本的膜具有检测摄象机抖动的透镜可以包括一个。 |
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