| 扫描探针显微镜可调节pspd的轴线，调节方法，起始方法和记录介质 |
| KR1020140033565 2014-3-21 发明申请 |
| 2015-10-5 |
| 本发明涉及悬臂安装在取消工作时探针显微镜中产生的误差，光学梁结构相对应的步I的原点检测器pspd到对齐后，坐标生成新的检测器pspd，新的与坐标变换，或由主轴电机速度的精度提高探针显微镜的方法，如数据使用相同的开槽设置。套件样品的被分析物相同的表面特性与尖端具有通过分子内的位移操作上的力原子样品，改变至少一个操作频率和程度的弯曲悬臂；悬臂上表面的光源产生的光束入射；悬臂光源和光学振动运动或至少一个所述驱动单元驱动所述主位置入射在横梁上；检测光学反射从悬臂，移动光束入射对应的位置编号1上产生的信号的坐标号1的检测器；和检测器检测到的数量为1数量明显大于2和容易地计算坐标计算单元；包括，2号基于悬臂的位移操作的坐标，工作频率和程度弯曲措施至少一个的，样品表面分析的特点，其特征在于探针显微镜的书写装置在自动白平衡的坐标检测器设置。本实用新型为实现精密探针显微镜。是可能的。用于校正坐标检测仪自动此外它是可能的。 |
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