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位移检测机构和扫描探针显微镜及其使用
JP2015112617 2015-6-2 发明申请
2015-10-1
要解决的问题 : 位移检测光杠杆系统或自传感式悬臂位移检测机构和不提供扫描探针显微镜的使用方法。方法 : LC谐振器5和F-Ⅴ转换器6和通过悬臂位移检测器7,和样品表面之间的悬臂1通过检测静电容量的变化,和能够检测悬臂的位移1。因此,光形状的切断或物理特性可以测量和进行测量,或形状的光由于样品的存在下和可测量的变化,物理特性信息。选择的绘图 : 图。1
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