利用相关探针振荡和探针-样品偏压的原子力显微镜
 
US14231885  2014-4-1  发明申请

2015-10-1
 
  原子力显微镜(AFM)的一种方法。 产生第一驱动信号,用于引起探针尖端在垂直于样品表面的方向上的周期性运动。 第一驱动信号具有已知的幅度和频率。 产生偏置信号,用于相对于样品表面的电势向探针尖端施加电势。 偏置信号的至少一个分量是振荡的并且与探针尖端的周期性运动相关。 检测探针尖端的响应,并由处理器分析以推断关于样品表面的成分的信息。
 
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