| 光学原子力显微镜使用绝对位移传感器 |
| KR1020140031363 2014-3-18 发明申请 |
| 2015-9-30 |
| 作为原子力显微镜的光学相关实施例中，样品XY扫描器的纳米轴线在水平方向，所述悬臂样品表面扫描Z轴纳米扫描头部分，所述Z轴纳米扫描器头部的相对位移测量的光学传感器，所述Z轴纳米扫描仪用于支撑和所述Z轴纳米的扫描仪状态导通连接纳米扫描头绝对位移容纳传感器的绝对，所述Z轴一种纳米位移测量的扫描头第二根据高度样品表面形状具有所述光学传感器或进行在所述绝对位移传感器。因此，原子力显微镜的光学传感器除了使用应变片传感器另外Z限定的轴线通过绝对扫描装置纳米，该添加值到用户的控制输出端的现有控制所述特征信息纳米轴线Z，当测量的误差由于非扫描仪的线性度，更精确形状的信息可以得到。 |
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