| 扫描探针显微镜 |
| WOJP14057839 2014-3-20 发明申请 |
| 2015-9-24 |
| 该扫描探针显微镜是具有 : 样品移动装置(111，133)，它包括圆筒状的压电扫描器(111)，和其移动样本(110)通过弯曲所述压电扫描器(111)，通过施加电压，所述样品被放置在上端面的压电扫描器；扫描控制装置(132)，其控制探头的相对位置(114)和样品(110)通过控制施加的电压；样品厚度采集装置(138)，获取样品的厚度值(110)；和相关信息确定装置(139)，其确定相关信息的指示，利用厚度值，所施加的电压之间的对应关系对压电扫描器(111)，和位移量的样品(110)表面，所述位移处于水平方向。扫描控制装置(132)控制的相对位置，使用相关信息。因此，准确样品扫描的考虑影响样品的厚度(110)对所述试样的移动量在XY可以进行方向。 |
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