| 显微镜及组件多波束扫描 |
| DE102014003773 2014-3-15 发明申请 |
| 2015-9-17 |
| […]光线的多波束检测路径扫描显微镜根据本发明具有一个在和显微镜物镜，所述照明光束路径中的一个部件，用于生成多个扫描光束从至少一个照明横梁位于为楔形光发射第一部件，用于产生空间移动分料锥设置在照明光束路径，以部分反射表面至少部分地由所产生的扫描光束在多次反射。显微镜比激光扫描显微镜具有至少一个一维扫描光束的扫描器，用于扫描运动和通过样品形成在所述照明光束路径中。有利的，扫描光束在照明方向非零角度之前在透镜至少部分地以一个。优选地，所述扫描光束与显微镜物镜至少部分地在物镜的光瞳。用于扫描光束至少部分地额外的补偿元件，用于补偿光谱色散和/或射束方向。 |
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