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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

一种基于迟滞模型的扫描探针显微镜扫描控制方法

CN201510320629.9 2015-6-11 发明申请

2015-9-16

本发明公开了一种基于迟滞模型的扫描探针显微镜扫描控制方法，该方法通过将迟滞逆模型控制应用于SPM的驱动器控制系统中，来补偿驱动器的迟滞；并且通过与PID反馈结合的复合控制，进一步提高定位精度。与传统的位移反馈控制方法相比，最大的优势在于：模型中可以精确地反映迟滞现象的特性，不存在反馈系数过高导致系统失稳的问题。