| 扫描探针显微镜以及试样测量及其使用方法 |
| WOJP14080841 2014-11-21 发明申请 |
| 2015-9-11 |
| 本发明的目的是提供一种扫描探针显微镜是 : 消除热漂移的影响实现了即使在测量过程中测量重复性好在长时间和样品测量方法该扫描探针显微镜。本发明提供了一种“样品测量方法使用扫描探针显微镜其特征在于 : 样品表面扫描探头支撑的悬臂，所述探头的前端通过悬臂支撑，来产生近场光的照射激发光到悬臂上，散射光检测系统用于检测被散射的近场光从样品表面，和位置或所述激发光照射角度到悬臂上或之间的位置关系，前端的探头和散射光检测系统进行校正。“ |
微信公众号