扫描电子显微镜
 
WOJP15053033  2015-2-4  发明申请

2015-9-11
 
  该扫描电子显微镜包括 : 电子源(100),用于产生电子束;轨迹分散装置(150,151)用于分散从电子束的电子的轨迹具有不同能量;选择狭缝板(170)具有选择狭缝用于选择分散的能量范围的电子束;和透过率监测单元(180,181)用于监测电子束透过的透过率选择狭缝。以这种方式,扫描电子显微镜,它设有能量滤波器达到一个稳定的降低能量分散,可以提供。
 
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