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电子装置，和方法用于使用电子显微镜观察样品的

JP2010151853 2010-7-2 发明授权

2015-9-9

所要解决的问题是 : 根据样品的状态，用电子扫描显微镜和光学显微镜在同时观察和交替观察之间切换。本发明提供一种电子束装置，在电子束装置中，在单一的壳体中包含 : 电子扫描显微镜，其具有用于在辐射电子束的同时扫描样品中的观察区域的电子光学结构，并输出样品的SEM图像数据；以及光学显微镜30，其具有光源和光学系统，该光学系统形成由光源照射的样品的观察区域的光学图像，并输出光学图像数据。另外，设置同时观察判定装置41，用于基于SEM图像数据和光学图像数据，判定样品是否能够与电子扫描显微镜和光学显微镜同时观察。在来自光源的光量最小的状态下拍摄SEM图像，并且如果同时观察确定装置41确定可以执行与光学显微镜30的同时观察，并且如果不能，则执行与电子扫描显微镜10和光学显微镜30的交替观察，则实现同时观察。