| 扫描频率梳状显微镜(SFCM)在半导体载流子剖面测量中的应用 |
| US14635828 2015-3-2 发明申请 |
| 2015-9-3 |
| 将锁模超快激光器聚焦在扫描隧道显微镜(STM)的隧道结上，产生微波频率梳(MFC)。 MFC由数百个可测量的谐波组成，这些谐波叠加在直流隧穿电流上，频率是激光器脉冲重复频率的整数倍。 在扫描频率梳状显微镜(SFCM)中，STM的尖端和/或样品电极垂直地和横向地移动，使得可以在样品表面上的一个或多个位置测量MFC中的功率，并且可以根据功率、载流子密度和样品的其他特性来计算样品的功率、载流子密度和其他特性。 SFCM对样品无破坏作用。 虽然许多系统可以实现SFCM，但是公开了一种优选的装置。 |
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