| 补偿原子力显微镜中偏转伪影的方法和装置 |
| US14193138 2014-2-28 发明申请 |
| 2015-9-3 |
| 一种补偿使用在振荡模式下操作的标准原子力显微镜(AFM)收集的数据中的伪影的方法。 该伪影是由与实际探针-样品相互作用无关的探针的偏转引起的，并且该方法包括通过测量测量的偏转的DC分量来补偿AFM的探针的热诱导弯曲。 通过校准光学偏转检测设备和监测平均偏转的移动来识别偏转的DC分量，从而允许优选实施例最小化由于人为因素造成的不利影响。 值得注意的是，绘制直流偏转剖面可得到样品的相应温度剖面。 |
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