| 电子扫描显微镜和图像生成方法 |
| WOJP15053598 2015-2-10 发明申请 |
| 2015-9-3 |
| 在带电粒子束装置使观察在大气压力下，一种大气压力空间具有设置在其中的样品和真空空间设置在带电粒子光学系统侧隔离彼此使用隔离膜将带电粒子射束。该隔离膜的极薄并因此经常发生断裂。因此，隔离膜增加了交换的频率和已经方便的降解问题或增加运行成本，由于交换操作。为了解决该问题，一种扫描电子显微镜上设有电子光学镜筒(2)，底盘(7)，隔离膜(10)。电子光学镜筒(2)的初级电子束照射在样本(6)。底盘(7)直接键合到电子光学镜筒内具有内侧成为下比内部真空状态的电子光学镜筒，至少在所述辐射初级电子束的。隔离膜(10)隔离空间在大气压气氛下具有试样(6)安装在其中，和下底盘的内部真空状态，并将该一次带电粒子束。 |
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