| 扫描探针显微镜的悬臂针尖的制造方法 |
| RU2014107269 2014-2-25 发明申请 |
| 2015-8-27 |
| 1。制造悬臂针尖的扫描探针显微镜方法通过使用该基板的，其特征在于 : 基板，由光学透明的材料，具有形状缸与插接端与一个侧和锥形收窄的与另，在将其注入液体光学透明介质和水平位置中浸没在塑料质量，在塑料质量的同时水平以上的水平轴线的基板，在水平的液体光学透明介质-衬底的水平面以下的开口锥形端，然后冷却塑料的质量中的液体光学透明介质被传送的固体集料状态，温度后塑料的外观质量增加了膜在形成STI的液体，等光学透明介质之间，位于固体聚集态，和基片；通过光源与开槽的物镜，位于基板上方平行于其纵轴，针对平面光流在基板上，其上随后的运动距离，某些规定的间距开槽的物镜，并保持在预定位置达到外观的固体中的光学透明介质的空腔，获取需要的量后腔的下部光学透明介质逐渐温度降低塑料质量消失膜在形成STI的液体和空腔，温度后的塑料物质再次增加了外观的膜在形成STI的液体，等光学透明介质和基板之间，再在衬底的上方从光源例如 |
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