| 用于自动扫描探针显微镜的方法和装置 |
| US14629817 2015-2-24 发明申请 |
| 2015-8-27 |
| 本发明涉及扫描探针显微镜和相关仪器(“SPM”)，当用于调查或测量大样品时，所述大样品的尺寸是SPM的典型操作扫描区域的倍数，例如至多150μm×150μm。 为了避免在聚焦SPM时频繁的调整或其他耗时的人工交互和错误，公开了一种用于大样本的SPM扫描的多步骤自动化方法，包括适于扫描大样本的“粗”即低分辨率的非SPM扫描或映射步骤，并提供样本的整体图，随后优选地是识别样本的感兴趣区域的数学评估步骤，然后这些区域被SPM进行具有高分辨率的聚焦的“细”光栅扫描步骤。 相关的装置提供了执行这种新颖的三步过程的手段。 |
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