| 自动扫描探针显微镜系统中的精确探针放置 |
| US14630074 2015-2-24 发明申请 |
| 2015-8-27 |
| 一种扫描探针显微镜(SPM)系统和相关方法。 所述SPM系统具有适于与样品的纳米级特征相互作用并在目标区域内扫描以产生所述目标区域的三维图像的探针， 所述系统根据样本特定坐标系维护所述样本的多个感兴趣特征的位置信息，其中所述SPM系统被配置成根据SPM坐标系调整所述探针相对于所述样本的定位，所述SPM系统还被配置成通过确定所述样本特定坐标系和所述SPM坐标系之间的一组对准误差来管理所述样本特定坐标系和所述SPM坐标系之间的动态关系，并对所述SPM坐标系应用校正以抵消所确定的对准误差。 |
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