| 用于双共振频率增强静电力显微镜检查的方法、系统和计算机可读介质 |
| US14428510 2013-9-16 发明申请 |
| 2015-8-27 |
| 本文描述的主题包括用于双共振频率增强静电力显微镜检查的方法、系统和计算机可读介质。 一种方法包括向原子力显微镜悬臂施加交流(AC)偏置和直流(DC)偏置，其中AC偏置具有大于悬臂的基波谐振频率的频率。 该方法还包括以与AC偏置的频率不同的频率机械地振动悬臂。 该方法还包括使用悬臂梁在同一遍中物理地和静电地扫描样品，同时振动悬臂梁并将AC和DC偏压施加到悬臂梁，以及从物理扫描产生样品的拓扑图像和从静电扫描产生样品表面下面或表面上的带电材料的静电图像。该方法还包括使用悬臂梁在同一遍中物理地和静电地扫描样品，同时振动悬臂梁并将AC和DC偏压施加到悬臂梁上，并且从静电扫描产生样品的拓扑图像和样品表面下面或表面上的带电材料的静电图像。 |
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