| 精密探头放置在自动扫描探针显微镜系统 |
| WOUS15017319 2015-2-24 发明申请 |
| 2015-8-27 |
| 一种扫描探针显微镜(SPM)的系统和相关方法。SPM系统具有适于相互作用的探针与样品的纳米级特征和扫描在目标区域以产生目标区域的三维图像，所述系统位置信息的维护用于多个样品的感兴趣的特征根据样品特定坐标系统，所述SPM系统被配置为调整定位的探针相对于样品根据SPM的坐标系统，SPM系统还被配置成管理动态样品特异性的坐标之间的关系的系统和SPM坐标系统通过确定一组对准样品特异性的坐标系统之间的误差和SPM坐标的系统和施加校正到SPM中所确定的偏移坐标系统对准误差。 |
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