| 一种调控原子力显微镜悬臂梁共振频率的方法和装置 |
| CN201510212160.7 2015-4-28 发明申请 |
| 2015-8-26 |
| 本发明涉及调控原子力显微镜悬臂梁共振频率的方法和装置。该方法包括步骤：向所述原子力显微镜中的电磁铁输入驱动信号，所述驱动信号调控所述电磁铁的电磁梯度的大小和方向；改变所述驱动信号来调整所述原子力显微镜的悬臂梁的共振频率。本发明提供的方法和装置通过改变调控信号的电流大小与方向，从而改变探针测量微悬臂梁受力的大小和方向，达到改变探针测量悬臂梁的共振频率的效果，以满足不同被测样品的需求。 |
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