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与拉曼显微镜和电子显微镜分析系统
CZ19840141 2014-3-26 发明申请
2015-8-26
本发明涉及一种系统使用数量分析装置,例如电子显微镜(4),拉曼显微镜(6),离子束柱(20)和扫描探针显微镜(24)用于样品(3)并行分析,连续或者与所述互相关进行的分析同一样品(3)的区域中不同的装置使用该连接的拉曼显微镜光学物镜(11)和客观的机械手(17),通过拉曼显微镜能显著减少分析所需的时间(6)与其它设备一起并保持高的质量。所述感测信号与独立的分析装置。
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