| 检查样品的方法在带电粒子显微镜 |
| EP14156356 2014-2-24 发明申请 |
| 2015-8-26 |
| 一种检查样品的方法在带电粒子显微镜的扫描透射式，包括以下步骤 : -提供一束带电粒子被引导从光源通过照明装置以照射样品；提供一种检测器，用于检测带电粒子的通量遍历所述样品；-使所述束以扫描表面上的样品，和记录检测器的输出作为扫描位置的函数，所得的累积带电颗粒样品的图像，该方法还包括以下步骤 : 体现检测器包括多个检测段；-结合检测器的信号从不同的段，以产生矢量来自检测器的输出在每个扫描位置，且编译该数据以产生矢量场；-数学处理，所述矢量场，通过对到二维一体化操作，从而产生整合的矢量场图像。 |
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