| 制造方法的三维相位图像和扫描共焦干涉显微镜 |
| RU2014104314 2014-2-7 发明申请 |
| 2015-8-20 |
| 1。生产相位图像段物的方法，在从空间上相干光源的初始波束扫描的偏振分光面，将初始光线到物体和支撑梁，具有相互正交的线性偏振，prichemopornyi束聚焦在avtokollimatsionnom镜，和物束在预定的垂直坐标，所述转换后的线偏振光束以圆形和空间反射后的物光束的过滤，ipri装置得到滤出物和参考光束，至少，三个干涉图的每个小区域的对象，接近预定的垂直坐标，在etomdlya生产的每个之间的相移干涉图提供不同的滤除物体和支撑的光线。2。根据权利要求1的方法，其特征在于 : 生产的干涉图的每个滤出物和参考光束是分离，至少，在三个隔离梁与形成相应对的数量的，每个由分离的对象和分离参考光束，和每对daleeluchi降低到单一线偏振与从其它对角度的不同取向，涉及光电检测器。3。根据权利要求1的方法，其特征在于 : 点聚焦物体和参考光束位于同一光由分光面距离。4。根据权利要求1的方法，其特征在于，物体的空间过滤梁通过共焦光阑。5，根据任意权利要求1-3的方法，不同的， |
微信公众号