| 相向摩擦力三折叠压电马达及控制法与扫描探针显微镜 |
| CN201510238050.8 2015-5-6 发明申请 |
| 2015-8-12 |
| 本发明相向摩擦力三折叠压电马达及控制法与扫描探针显微镜，包括平行双轨架，三个压电体、两个弹簧片，三个压电体形变方向一致并按折叠结构将第一压电体一端与第二压电体一端固定，第二压电体另一端与第三压电体一端固定，构成三折叠压电体，其两端固定的弹簧片将其弹性地压在平行双轨架的双轨之间，三折叠压电体的形变方向与平行双轨架的导向方向一致，当第一压电体做周期性形变时，其与平行双轨架间的摩擦力小于第三压电体与平行双轨架间的最大静摩擦力，当第三压电体做周期性形变时，其与平行双轨架间的摩擦力小于第一压电体与平行双轨架间的最大静摩擦力。其优点是：结构简单、紧凑，刚性强，推力大，能在低温、强磁场等极端条件下运行。 |
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