| 一种光学原子力一体化扫描探针显微镜 |
| CN201520223175.9 2015-4-14 实用新型 |
| 2015-8-12 |
| 本实用新型公开了一种光学原子力一体化扫描探针显微镜，包括主机、电子学控制器和上位机，主机包括电动样品台，电动样品台连接有照明系统，照明系统的上端设置有CCD装置和目镜，照明系统的上端设置有转换器，转换器的下端设置有若干物镜，若干物镜中的一个设置有探针架，探针架固定设置有扫描探针，转换器的下端一侧还设置有激光检测装置。本实用新型的有益效果：本实用新型显微镜同时集成了光学显微镜和扫描探针显微镜的操作简便、集成度和自动化程度高、样品成像范围大、可实现无极变倍放大的优点，从而解决了微纳行业从微米到纳米任意级别大小分析以及从二维到三维同时成像的问题，可满足科研、工业和教学等不同的应用需求。 |
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