| 高解析度反射式三维光电显微镜 |
| TW103141178 2014-11-27 发明授权 |
| 2015-8-11 |
| 本发明揭露一种高解析度反射式三维光电显微镜，其包括光源、导光组件、极化分光镜、四分之一波长波片、透镜组、分光镜、四边形棱镜、直角棱镜、第一影像撷取模组、第二影像撷取模组及运算处理手段。导光组件将光源发出之光束导出。光束通过四分之一波长波片後经待测物反射回四分之一波片，以形成垂直偏极光束的光影，再入射至该极化分光镜後反射。透镜组将光影放大。放大後的光影经分光镜分成穿透光与反射光，四边形棱镜供穿透分光镜之光影入射，使光影入射角在临界角附近。直角棱镜供分光镜反射之光影入射。第一影像撷取模组接收四边形棱镜於临界角附近时所反射之光影而成。第二影像撷取模组接收直角棱镜全反射之光影而成像。运算处理手段将二成像处理显示为第一影像及第二影像，再作影像重叠、相除以及分析之处理，俾能快速取得待测物的三维影像资讯。 |
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