| 数字显微镜的光学系统 |
| DE102014202052 2014-2-5 发明申请 |
| 2015-8-6 |
| 本发明涉及一种光学系统,用于所述至少一个物镜([…],[…])数字显微镜检查的具有,至少一个望远镜[…][…]装置(TEL1,[…],[…])从(向)和,其中,在所述望远镜和装置(TEL1,[…],[…])(BL)设置膜片(对)[…],的在于在望远镜应该入后焦点装置(TEL1,[…],[…])映射([…],[…])的透镜同时满足以下条件 : 透镜的光电导-(L)>1.4([…],[…]),所述望远的光电导的-(L)装置(TEL1,[…],[…])>0.35,-(L)>0.35℃的光电导(到),(l)的关系L≥A·光电导考虑任何[…],所述的瞳孔直径无限areaedge束ξ的倾斜角度和在-1/3≤Γ(Γ)的区域中的所述望远镜,所述望远镜的放大≤-3。 |