扫描探针显微镜用探针的光热驱动
 
US14424597  2013-7-30  发明申请

2015-8-6
 
  公开了驱动扫描探针显微镜的探针的各种方法。 一组方法通过扫描光束或增加其照射面积来将辐射光束的能量分布在探针的宽区域上。 另一种方法利用衍射光学元件改变辐射光束的强度分布,使得能够在照明宽度上具有更均匀的强度分布。 另一种方法使用衍射光学元件来改变辐射光束的圆周形状,从而改变照射在探针上的区域的形状,以匹配探针的形状,从而将能量分布在更宽的区域上。
 
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