图案评价装置和扫描电子显微镜
 
JP2014010695  2014-1-23  发明申请

2015-7-30
 
  要解决的问题 : 上部和下部具有多层结构,以准确识别部。溶液 : 一种图形图像显示的图案用于执行该测评评价装置,有选择地进行滤波处理以获得图像数据,图像的选择性滤波器应用于所述给定方向的多个不同位置形成型材,从轮廓的多个,用于检测计算出的评价值的边界,所述创建简档从该评估值用于检测边界,边界检测型材特别显著变化的位置和边界图案的位置。选择的绘图 : 图。3
 
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