| 用低压扫描电子显微镜研究高压能量色散谱 |
| US14162802 2014-1-24 发明申请 |
| 2015-7-30 |
| 一种扫描电子显微镜(SEM)和能量色散谱(EDS)设备，包括扫描电子显微镜、X射线检测器和辅助加速电压源。 所述扫描电子显微镜包括样品保持器和分层电子束柱，所述分层电子束柱布置成以初始射束能量向样品保持器输出电子束。 辅助加速电压源在样品保持器和分层电子束柱之间施加辅助加速电压，以将电子束加速到最终束能。 在最终束能量下，电子束能够从比初始束能量下的电子束更大范围的原子物种产生多个波长的X射线。 |
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