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扫描探针显微镜的分辨率提高的多扫描器SPM

WOIB14058567 2014-1-27 发明申请

2015-7-30

扫描探针显微镜(SPM)包括两个或多个三维扫描仪。一个扫描器，所谓通用视扫描仪，具有大的最大扫描区域，而其他，被叫详细视图的扫描器，具有较小的。