| 相关光学和带电粒子显微镜 |
| CN201510040069.1 2015-1-27 发明申请 |
| 2015-7-29 |
| 相关光学和带电粒子显微镜。本发明涉及装配有TEM柱和光显微镜(10)的相关光和电子显微镜(CLEM)，所述光显微镜安装在TEM的物镜的极靴(8A、8B)之间。为了扩大针对增强的灵敏度的接受立体角而使用截短的透镜。应注意的是这并不意味着透镜示出像散(其并不是圆筒形透镜)。本发明还教导在样本(1)处于第一方向上的情况下使用光显微镜来制作第一图像。由于两个方向(312x，312y)上的透镜的不同NA，此图像将在一个方向上示出比在与之垂直的方向上更高的(衍射限制)分辨率。通过使样本旋转并制作第二图像，可以形成与在其中其示出低NA的方向上的图像中的任一个相比示出更好分辨率的组合图像。 |
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