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4
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微纳米尺度热显微镜化学作图
US13684535 2012-11-25 发明授权
2015-7-28
一种化学成像的非破坏性方法,空间分辨率为?1nm至10μm(取决于热源的类型),无需样品制备和非接触方式。 在一个实施例中,使用IR激光器对样品进行光热加热,并且使用具有从样品反射的可见激光的IR检测器或激光探针来测量由此产生的热发射的增加。 在另一个实施例中,用聚焦的电子或离子源代替红外激光器,同时以与红外加热相同的方式收集热发射。 本实施例可实现的空间分辨率在1-50nm范围内。
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