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一种利用扫描电镜观察缺陷的方法及装置

US13143345 2009-11-27 发明授权

2015-7-14

搜索能够在低放大率场中获取的高放大率参考图像的成像区域，而不使载物台从已经以低放大率成像缺陷区域的位置移动，并且如果搜索成功，则获取成像区域本身的图像并获取高放大率参考图像。如果搜索不成功，则将成像方案切换到其中从与缺陷区域相邻的芯片获取高倍率参考图像的成像方案。