| 显微镜头与包括该显微镜头的显微镜系统 |
| CN201510203492.9 2015-4-24 发明申请 |
| 2015-7-8 |
| 本发明提供了一种显微镜头，所述显微镜头具有目镜端和物镜端，其中，所述目镜端的中心轴线和所述物镜端的中心轴线相交，并且所述显微镜头还包括设置在所述目镜端和所述物镜端之间的反光镜，以使入射光线和/或出射光线在所述目镜端和所述物镜端之间经由所述反光镜的反射而入射和/或出射。同时，本发明还提供了一种包括上述显微镜头的显微镜系统。通过本发明提供的显微镜头和显微镜系统，能够改善对被观察对象(例如玻璃基板)上的缺陷的观察和识别，从而提高良率的准确性。 |
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