| 相向摩擦减阻力惯性压电马达及控制法和扫描探针显微镜 |
| CN201510189463.1 2015-4-15 发明申请 |
| 2015-7-8 |
| 本发明相向摩擦减阻力惯性压电马达及控制法和扫描探针显微镜，包括驱动压电体、滑杆、弹簧片，其特征是还包括副压电体，所述弹簧片将滑杆的两端与副压电体形变的两端弹性相压，副压电体或滑杆与驱动压电体形变两端的一端固定。马达静止时，滑杆受到的握持力是较大的静摩擦力，马达抗干扰能力强，稳定性高；马达行走时，副压电体形变，副压电体两端和滑杆间的总摩擦阻力减小，这时驱动压电体快速形变产生的惯性力就有很大一部分转为输出推力，马达步进有力。本发明保留了惯性压电马达结构简单，精度高，工作温区大，加工精度要求低的优点，但解决了其刚性低、紧凑性低，输出推力小的缺点，适合于在低温、超高真空、强磁场等极端条件下工作。 |
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