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一种扫描电镜样品台
CN201520201041.7 2015-4-3 实用新型
2015-7-8
本实用新型公开了一种扫描电镜样品台,所述样品台上设有水平放置样片的平面平台和至少2个用于夹持样片的弹性夹持机构;所述弹性夹持机构与样品台之间具有倾斜角度,且各自的倾斜角度不同。本实用新型通过在样品台上设置水平放置样片的平面平台和弹性夹持机构,实现了对样品的平面和斜面观察及检测;尤其适用于薄片型样品的截面和前表面检测。
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