| 扫描电子显微镜 |
| KR1020130166221 2013-12-27 发明申请 |
| 2015-7-7 |
| 本发明公开了一种双光束扫描电子显微镜。它包括样品分析室，用于支撑样品的样品台，安装在待测样品分析室，，离子枪，其安装到所述样本分析腔室和发射离子束制造的横样品与样品台的截面，扫描电子单元，其连接到所述样本分析腔室和注入电子束到样品，a保护板安装离子枪和样品之间的开孔阶段和确定的横截面制造采样的点位于样品台，屏蔽板位置控制器，其支撑屏蔽板，其安装到台在样品分析室用于精细定位控制，检测器检测样品横截面的制造状态由发射离子束从离子枪，以及一个阶段，驱动部改变姿势和位置的横截面之间的样品台的制造位置垂直于扫描方向的样品台和离子束和横截面的监控位置，平行于扫描方向的样品台的电子束。 版权kipo2015 |
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