| 高速3D工业数字显微镜 |
| CN201510141284.0 2015-3-27 发明申请 |
| 2015-6-24 |
| 一种高速3D工业数字显微镜，属于检测设备技术领域。包括底座、支架、目镜、物镜、载物台以及电机，支架安装在底座上，目镜固定在支架高度方向的近上部，物镜设置在目镜镜筒的正下方，载物台固定在支架高度方向的近下部且位于物镜的下方，电机通过一物镜定位支架与物镜驱动连接，物镜随电机运转而沿支架作上下运动。优点：兼具微观3D测量和微观高清数据获取的功能，只对物镜进行位置控制，而不是对整个光学系统进行运动控制，使用方便，聚焦精准；单独的物镜由于质量较轻，可由小型直线电机驱动作上下运动，运动速度快；同时还配设高快门帧曝光的数字相机来匹配物镜的快速运动，由此能提高整个成像系统的数据获取速度，实现快速成像。 |
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