| 基于自混合干涉的共焦点激光显微镜及其扫描方法 |
| CN201510103081.2 2015-3-9 发明申请 |
| 2015-6-24 |
| 本发明公开了一种基于自混合干涉的共焦点激光显微镜，包括氦氖激光器、由凹透镜和凸透镜组成的扩束准直透镜组、可变中性密度滤光片、物镜、两维运动平台、一维运动平台、精密运动平台控制器、光电探测器、电流/电压转换电路、滤波器、放大器、模/数转换电路以及计算机单元；利用激光自混合干涉和共焦点原理进行显微扫描的方法，综合了激光自混合技术的结构简单、易准直的优点和共焦点显微镜轴向分辨力高、抗干扰能力强的特点，解决了共焦点激光显微镜的自动对焦问题和扩大测量视野的问题，简化了传统共焦点显微镜的结构，减小共焦测量系统中反射光路的调整难度，弥补了传统共焦点显微镜的所需光学元件多、对光学元件要求高、光路复杂调节难度高的特点。 |
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